气体混合物是指由两种或两种以上的纯气体、根据使用的要求并按一定比例配制而成的混合气，有二元或多元混合气，其品种之多，可达数千种。常用气体混合物的分为一般混合气体和电子工业用混合气体。一般混合气体有激光混合气、特殊仪器用混合气、焊接混合气、保鲜混合气、电光源混合气、医疗及生物研究混合气、消毒杀菌混合气、检漏（报警）混合气、高压混合气和零级空气。电子工业用混合气有外延（生长）混合气、化学气相淀（CVD）混合气、掺杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。